Установка плазменной очистки Ulvac ENVIRO-1Xa
Есть в наличии
Отправить запрос
Либо отправьте ваш запрос на почту tako@tako-line.ru
Описание
Самая совершенная в отрасли система плазменной очистки
Система плазменной очистки ENVIRO-1Xa обеспечивает самую высокую производительность на квадратный метр пространства в чистом помещении при минимальных затратах. ENVIRO-1Xa оснащен источником плазмы, обеспечивающим чрезвычайно быструю скорость удаления резиста > 10 мкм / мин. ENVIRO-1Xa - это самая маленькая 200-миллиметровая система плазменной очистки.Благодаря меньшему количеству пространства в чистом помещении и более низкой цене по сравнению с моделями конкурентов.
Ключевая особенность системы очистки
- Время обработки: 20 секунд
- Размеры пластин: 100 - 200 мм
- Вариант бесконтактного концевого эффектора
- Двойная загрузка
- Удаление полимера и остатков
- Удаление органического жертвенного слоя
- Скорость плазменной очистки - от нескольких нм / мин до 10 мкм / мин
- Широкий диапазон температурного контроля
Отзывы
Новости
Все новости