Установка плазменной очистки Ulvac ENVIRO-1Xa

Самая совершенная в отрасли система плазменной очистки

Система плазменной очистки ENVIRO-1Xa обеспечивает самую высокую производительность на квадратный метр пространства в чистом помещении при минимальных затратах. ENVIRO-1Xa оснащен источником плазмы, обеспечивающим чрезвычайно быструю скорость удаления резиста > 10 мкм / мин. ENVIRO-1Xa - это самая маленькая 200-миллиметровая система плазменной очистки.
Благодаря меньшему количеству пространства в чистом помещении и более низкой цене по сравнению с моделями конкурентов.

Ключевая особенность системы очистки

• Время обработки: 20 секунд
• Размеры пластин: 100 - 200 мм 
• Вариант бесконтактного концевого эффектора
• Двойная загрузка
• Удаление полимера и остатков
• Удаление органического жертвенного слоя
• Скорость плазменной очистки - от нескольких нм / мин до 10 мкм / мин
• Широкий диапазон температурного контроля