Вакуумные датчики, вакуумметры
Быстрый просмотр
|
Есть в наличии
Характеристики
|
|
Быстрый просмотр
|
Есть в наличии
Характеристики
|
|
Быстрый просмотр
|
Есть в наличии
Характеристики
|
|
Быстрый просмотр
|
Есть в наличии
Характеристики
|
|
Быстрый просмотр
|
Есть в наличии
Характеристики
|
|
Быстрый просмотр
|
Есть в наличии
Характеристики
|
|
Быстрый просмотр
|
Есть в наличии
Характеристики
|
|
Быстрый просмотр
|
Есть в наличии
Характеристики
|
|
Быстрый просмотр
|
Есть в наличии
Характеристики
|
|
Какие бывают вакуумметры. Как выбрать?
Выбор правильного вакуумметра важен для успеха процесса откачки. Чтобы сделать правильный выбор, нужно знать как они работают.
Для правильного выбора нужно следующие важные параметры:
- метод работы
- состав газа (инертный или реактивный, коррозионный)
- чувствительность (калибровочный коэффициент)
- процесс, выполняемый в системе.
Широкий диапазон давлений, получаемых при работе вакуумных насосов, требует использования нескольких вакуумметров. Для охвата всего давления с необходимой точностью нужно использовать несколько вакуумных датчиков.
Другими важными факторами при выборе вакуумного датчика являются производительность и технические факторы, такие как:
- разрешение
- диапазон измерения
- диапазон систематических ошибок
- уровень случайной ошибки
- срок службы и время реакции
- стоимость
Диапазоны вакуума и вакуумметры для них
Для разных рабочих диапазонов требуются разные вакуумные датчики. Выбор зависит от понимания принципов работы, давлений, которые он может измерять, и его точности. При низком вакууме в диапазоне между атмосферным давлением и 10 Торрами, используются вакуумметры с трубкой Бурдона, пьезорезистивные.
От 10+1 торр до 10-3 торр есть несколько вариантов:емкостные,
термопарные, конвекционные вакуумметры или Пирани.
В области от 10-3 торра до 10 -6 торр., используются инверсно- магнетронные и широкодиапазонные вакуумметры. Они требуют частой калибровки.
Ниже 10 -6 мм. рт. ст используют электронно-ионизационные вакуумные датчики
Вакуумметры с прямым и косвенным измерением давления
Вакуумные датчики разделены на две категории, основанные на способе измерения. Те, которые измеряют давление прямо (сила, действующая при воздействии молекул), и которые косвенно измеряют давление. Косвенные датчики должны быть на основе фактически присутствующего газа. Их показания являются «зависимыми». Прямые вакуумметры используются в области низкого вакуума, а косвенные датчики используются в области среднего, высокого и сверхвысокого.
Косвенные вакуумные датчики делятся на группы:
- измеряющие молекулярное сопротивление или вязкость.
- измеряющие перенос тепла через газ (Пирани и термопарные вакуумные датчики)
- измеряющие плотность числа ионизированных молекул.
Двумя основными ориентирами во всех измерениях являются стандартное атмосферное давление (1 атм.) и идеальный вакуум (0 Торр), поэтому для расчетов с использованием вакуумных систем требуется преобразование в абсолютное (psia) или отрицательное (psig).
Типы вакуумметров
Механические
Примерами являются вакуумметры с трубкой Бурдона, U-образные и емкостные мембранные манометры. Они измеряют силу на единицу площади через закон Далтона. Манометры прямого действия не зависят от чувствительности к газу и не нуждаются в калибровке.
Терморезистивные
Используют свойство теплопроводности для измерения давления. Пример: вакууметр Пирани, в котором нагревается нить, и измеряются ее потери тепла. При низком давлении и пониженной плотности в камере тепло отводится медленнее. Вакуумметры Пирани должны быть откалиброваны, потому что теплопроводность отличается. Эта «чувствительность» должна учитываться при выборе и использовании вакуумметров непрямого действия. Используется для давлений между 100 Торр и 10 -4 Торр.
Другим измерителем удельной теплопроводности является термопарный вакуумметр, который считается двухпроводным. Он использует принцип Пирани (однопроводной), за исключением того, что нагревателем выступает одна катушка провода, а другая используется для измерения температуры конвекции
Конвекционный вакуумный датчик похож на Пирани и использует температурно компенсированную позолоченную вольфрамовую проволоку для обнаружения эффектов охлаждения как кондукции, так и конвекции. В высоком вакууме реакция зависит от теплопроводности, а в низком - от конвективного охлаждения молекулами.
Вакуумметр Пирани, термопарный и конвекционный используются в грубом и среднем , потому что они недороги и относительно надежны.
Газовая чувствительность конвективного датчика изменяется в зависимости от газа.
Ионизационные вакуумметры.
Существует два типа ионизационных приборов с холодным катодом: Пеннинга и инвертированный магнетрон. Ионизационные вакуумметры являются датчиками косвенного действия. Они измеряют электрические ионы, возникающие при бомбардировке электронами. Меньшее количество газов будет вырабатываться с меньшим количеством ионов.
Манометры с холодным катодом
Такие как вакуумные датчики Пеннинга, могут не работать при очень глубоком вакууме из-за того, что почти полное отсутствие затрудняет установление тока электрода. Циклы технического обслуживания вакуумметра Пеннинга, как правило, измеряются в годах в зависимости от типа газа, в котором они эксплуатируются. Вакуумный датчик Пеннинга и являются точными в диапазоне от 10 -3 до 10 -10 мм рт.ст.