Вакуумные насосы для научно-исследовательской деятельности

Многие научно-исследовательские учреждения проводят ряд исследований с использованием средств высоковакуумной откачки. Требования, предъявляемые к надежности и чистоте полученной среды, очень высоки, ведь от этого зависит результат исследования.

Имеются два пути получения вакуума: основной путь - использование вакуумных насосов и второй - использование ловушек, которые обычно служат для улучшения вакуума, создаваемого вакуумными насосами.
Все вакуумные насосы удаляют газ одним из трех способов: отсекают определенный объем газа, сжимают его и выбрасывают в область высокого давления, другим способом обеспечивают откачиваемому газу достаточное количество движения, чтобы удалить его из вакуумной системы, либо забирают у газа это количество движения, химически связывая или конденсируя его на поверхности.

Для получения той или иной степени вакуума требуются соответствующие насосы или их комбинация. Выбор насоса определяется родом и количеством пропускаемых насосом газов и диапазоном рабочих давлений насоса и его параметрами. К сожалению, не существует такого насоса, с помощью которого можно было бы обеспечить получение вакуума во всем диапазоне давлений c приемлемой эффективностью.

В зависимости от степени вакуума все насосы могут быть отнесены к следующим группам:

1. Насосы предварительного разряжения (форвакуумные насосы, служащие для получения низкого и среднего вакуума), область рабочих давлений 105-10^-1 Па:
- Мембранные насосы для физического и химического применения Ilmvac серий MP и MPC;
- Двухступенчатые вакуумные насосы PVR серии PHV, ILMVAC серии PK;
- Спиральные вакуумные насосы - ILMVAC серии Dry Run 1, 2. Насосы серии Dry Run имеют инновационную вертикальную конструкцию, обеспечивающую повышенную стойкость к конденсату, а также обеспечивающую отличные условия смазки подшипников.
2. Сверхвысоковакуумные насосы (P < 10^-5 Па) и высоковакуумные насосы (10^-1 - 10^-5 Па).

Диффузионные вакуумные насосы и откачные посты на их основе ILMVAC DP63/4DM, DP100/8DM - применяется для откачки тела лазера, в напылительных системах и исследовательских установок.

Турбомолекулярные насосы ILMVAC SST, CDK, STP и посты хорошо приспособлены для откачки больших потоков газов, в том числе агрессивных, что делает их незаменимыми в микроэлектронике при реализации процессов нанесения и травления тонких пленок.
Главные отличия турбомолекулярных насосов ILMVAC - это использование передовых технологий и высокая степень автоматизации, простота эксплуатации и установки, высокий ресурс и очень длительный период работы между регламентными работами.
Выпускаются как компактные посты, так и посты, смонтированные на передвижной платформе, которые можно максимально точно адаптировать под требования клиента. Также поставляются отдельно турбомолекулярные насосы ILMVAC и комплектующие.

Геттерно-ионные насосы и сублимационные насосы VACOM - применяются для анализа состояния поверхности, в микроэлектронике в установках электронной и рентгеновской микролитографии.

Компания "ТАКО Лайн" предлагает к поставке высоковакуумные камеры по индивидуальным проектам. Наши специалисты совместно с научным персоналом заказчика выполнят проектирование и моделирование сверхвысоковакуумных камер, осуществит подбор высоковакуумной арматуры и средств откачки и осуществит поставку оборудования для вашего применения.

Важно, что для каждого клиента мы реализуем индивидуальный подход и изготовим вакуумные камеры исключительно по вашим требованиям.
Работая в Группе Компаний, мы опираемся на опыт наших немецких коллег из Технического Университета г. Ильменау, Технического Университета г. Дрезден, специалистов передовых исследовательских лабораторий и найдем для вас самое оптимальное решение.