Поиск утечек гелиевым течеискателем

Принцип работы:

Когда газ поступает в трубку течеискателя, он ионизируется и ускоряется. Высокоскоростные заряженные частицы подвергаются воздействию магнитного поля, перпендикулярного направлению движения. Результирующая сила перпендикулярна вектору скорости, и магнитному полю и заставляет частицы следовать по кривой траектории, радиус которой зависит от массы частицы, что позволяет отделить поток частиц от разных ионов. Правильно расположенная коллекторная пластина (ионный детектор) позволяет точно измерять концентрацию любого газа. Каждый электрон, выпущенный коллекторной пластины, равен присутствию одного иона гелия.

Методика использования гелиевого течеискателя

• Заблокируйте тестовый порт гелиевого течеискателя с помощью прилагаемой заглушки

• Запустите гелиевый течеискатель, включив главный выключатель питания.

• Течеискатель готов, когда горит индикаторы «Hi VAC OK», «Fil» и «Ready Turbo».

• Нажмите кнопку «Пуск» и дождитесь, пока кнопка «Тест» загорится (они обычно расположены на передней панели).

• Установите диапазон 10-9 Торр и подождите пока на гистограмме скорости натекания стабилизируется.

• Настройте Zero, если необходимо

• Нажмите кнопку «Vent», расположенную на передней панели детектора утечки, уберите заглушку.

• Откройте клапан на калиброванной утечке и нажмите кнопку «Пуск».

• При закрытом клапане при откалиброванной утечке убедитесь, что диапазон по-прежнему установлен на 10-9 Торр.

• Гистограмма скорости утечки должна показывать значение, аналогичное тому, что было отмечено на шаге 6. Это калибровка нуля.

• Откройте клапан на калиброванной течи и установите для параметра значение 6 (если кнопка «Hold» загорается после открытия значения калиброванной утечки, нажмите кнопку «Пуск»).

• Это калибровка Span.

• Если гелиевый течеискатель проходит калибровку Zero и Span, он готов к использованию.

• Удалите калиброванную утечку, нажав кнопку «Vent», закрыв клапан на калиброванной течи

• Подключите испытательную порт течеискателя к вакуумной установке

• Теперь можно начинать поиск течи.

• Начните с откачки камеры, и убедитесь, что вы достигли самого низкого уровня вакуума для данной камеры. Отметьте индикацию уровня фона. Он должен быть меньше стандартной течи, предпочтительно на порядок. Высокие фоновые признаки свидетельствуют о грубых утечках.

Дополнительные подсказки по проверке утечки включают в себя:

Гелиевый «дрейф» является основной проблемой при поиске места утечки. Проблема заключается в использовании слишком большого потока гелия, что приводит к появлению индикации утечки, которая находится не в исследуемом месте.

Если утечки не обнаружены, обратите внимание на уровень вакуума и медленно открывайте игольчатый клапан на вакуумной камере. Теперь введите небольшое количество гелия в дозирующий клапан. Вы должны увидеть большую индикацию утечки в течение 1 - 2 секунд. Затем закройте дозирующий клапан. По завершении проверки на утечку отключите гелиевый течеискатель.

Советы по тестированию гелиевого течеискателя.

Поиск утечек гелиевым течеискателем требует, чтобы он подвергался воздействию гелия в течение 3-4 секунд. Однако, как и в случае с предыдущим методом, для предотвращения ложных показаний требуется время задержки. Поэтому слишком быстрый поиск утечек с использованием гелия является плохой практикой, часто приводящей к трате времени на устранение течей там, где их нет. При использовании гелия проверка всегда должна начинаться снизу системы под давлением и сверху вакуумной системы.